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感应加热CVD化学气相沉积炉技术分析

CVD化学气相沉积炉是制备C/C复合材料的关键技术装备。
设备采用中频感应加热,设备采用立式,炉底升降进出料结构。温控系统选用日本岛电(或同档次一线品牌)智能程序控温仪控温,全套设备包含炉体、中频电源、电控系统、气体控制系统、水冷系统等组成。
 
技术参数:
1) 炉型结构:立式圆筒形,炉底升降装出料。
2) 加热方式:中频感应加热
3) 工作温度:2200℃
4) 常用温度:850~1150℃
5) 炉温均匀性:900±25℃1100±12.5℃
6) 控温方式:智能温控仪表(日本岛点FP23或同等品牌仪表)程序自动控温和手动调功控温两种方式;
7) 工作区尺寸:φ1200×H2500mm(直径×高);
8) 装载量:<2T
9) 升温时间:6~8h(室温~1200℃);
10) 加热功率:300kw
11) 控温精度:升温过程±2℃,保温过程±1℃
12) 真空度:≤50Pa(配置4H150滑阀泵);
13) 抽气时间:<50min(空炉冷态抽气达到50Pa)
14) 空炉冷态压缩率:≤66.7Pa/h
15) 可充气氛:氮气、烃类含碳气体;
16) 进气方式:顶部中间;
17) 充气流量:300L/min
18) 连续工作时间:>300h
19) 冷水流量:30m3/h; 冷水压力:0.150.25MPa
20)设备占地空间:6000×6000×6000mm(××)
 
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